中山德华芯片技术有限公司-欧洲杯投注网址

欧洲杯投注网址-欧洲杯买球网址政务公开交流互动

当前位置：欧洲杯投注网址-欧洲杯买球网址 > 政务公开 > 可共享仪器清单

中山德华芯片技术有限公司-icpecvd（感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统）

发布日期：2023-10-26　　信息来源：市科技局

分享：

　　名称：icpecvd(感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统)

　　设备介绍：电感耦合等离子体增强型化学气相沉积系统，可以用来沉积sinx，sio2介质膜，使用温度最高250℃，2/4/6寸晶圆兼容。

　　型号：sentech si500d

（联系人：夏小姐联系电话：18899811718）