设备名称:微纳涂层沉积系统设备
规格型号:xy-35-i
主要技术指标:
系统:
1.控制系统采用业界先进的触摸屏 plc方式,可手动、自动进行切换;
2.软件设定管理员、工艺员、操作员三级管理权限,保证系统安全;
3.关键加热控制系统可根据程序要求实现pid参数实时调节;
4.开放式镀膜程序编辑平台,用户可根据不同型号原材料及原材料放置数量有 针对性的开发镀膜程序,系统可存储32步以上镀膜程序,用户根据需求选择相应程序自动执行镀膜工艺;
5.系统可同时存储10组以上镀膜程序;
6.镀膜关键参数(包含蒸发室温度、裂解室温度、沉积腔室真空度)可生成实 时曲线并存储历史曲线数据,曲线x, y轴坐标可根据用户需要进行放大缩小;
7.系统抽气到5pa小于15分钟;系统极限真空wlpa;系统漏率w5e-6pa*l/s;
8.整个设备加热装置均带有超温保护系统;
蒸发室:
1.蒸发室最高加热温度200° c,温度均匀性w2%;
2.蒸发室最大装粉量400g;
裂解室:
1.裂解室最高耐温720℃,恒温稳定性±1℃,温度调节精度0.5℃;
沉积室:
1.沉积腔室采用钟罩式设计,方便产品摆放,利于设备维护保养;
2.材料选用不锈钢材质,直径35o*32omm,带有观察窗;
3.载物台转速0-10rpm之间可调;
冷阱:
1.冷阱极限温度wt10℃;
主要功能:微纳涂层沉积系统可在真空环境下通过化学气相反应在元 器件表面形成一层均匀致密的高分子防护层,膜层具有致密性。
应用领域:应用于航空航天、军工、电子、磁铁、医疗、电子产品等领域。
(联系人:黄家权 联系电话:0760-88365359)